imported>LNTG: отмена правки 144037061 участника 95.24.168.165 (обс.)

2025-07-17T00:39:46Z

отмена правки 144037061 участника 95.24.168.165 (обс.)

Новая страница

[[File:Excimer laser 1.jpg|thumb|Эксимерный лазер]]

'''Эксимерный лазер''' — разновидность [[ультрафиолет]]ового газового [[лазер]]а, широко применяемая в [[глазная хирургия|глазной хирургии]] ([[лазерная коррекция зрения]]) и [[Полупроводниковая промышленность|полупроводниковом производстве]].

Термин ''[[эксимер]]'' ({{lang-en|excited dimer}}) означает ''возбуждённый [[димер]]'' и обозначает тип материала, используемого в качестве рабочего тела лазера.

Первый в мире эксимерный лазер был изобретен в 1970, а представлен в [[1971 год]]у [[Басов, Николай Геннадиевич|Николаем Басовым]], В. А. Даниличевым, А.Г. Молчановым и Ю. М. Поповым, в [[Физический институт им. П. Н. Лебедева|Физическом институте им. П. Н. Лебедева]] в [[Москва|Москве]]. Лазер использовал димер [[ксенон]]а (Xe2), возбуждаемый пучком [[электрон]]ов для получения вынужденного излучения с длиной волны 172 нм. В дальнейшем другие группы изобретателей Avco Everett, Sandia Laboratories, Научно-технический центр Northrop и Военно-морскую исследовательскую лабораторию правительства США ввели усовершенствования и стали использовать смеси [[благородный газ|благородных газов]] с [[галоген]]ами (например, [[Ксенон|Xe]][[Бром|Br]]), что было запатентовано в [[1975 год]]у Джорджем Хартом и Стюартом Сирлесом из исследовательской лаборатории ВМС [[США]], которая также разработала лазер на смеси XeCl, который возбуждается с помощью микроволнового разряда.

Лазерное излучение эксимерной молекулы происходит вследствие того, что она имеет «притягивающее» (ассоциативное) возбуждённое состояние и «отталкивающее» (не ассоциативное) основное — то есть молекул в основном состоянии практически не существует. Это объясняется тем, что благородные газы, такие как [[ксенон]] или [[криптон]] высокоинертны и обычно не образуют [[химическое соединение|химических соединений]]. В возбуждённом состоянии (вызванном [[электрический разряд|электрическим разрядом]]), они могут образовывать [[молекула|молекулы]] друг с другом (димеры) или с галогенами, такими как [[фтор]] или [[хлор]]. Поэтому появление молекул в возбуждённом связанном состоянии автоматически создаёт [[инверсия населённостей|инверсию населённостей]] между двумя энергетическими уровнями. Такая молекула, находящаяся в возбуждённом состоянии, может отдать свою энергию в виде [[спонтанное излучение|спонтанного]] или [[вынужденное излучение|вынужденного излучения]], в результате чего молекула переходит в основное состояние, а затем очень быстро (в течение пикосекунд) распадается на составляющие атомы.

Несмотря на то, что термин ''димер'' относится только к соединению одинаковых атомов, а в большинстве эксимерных лазеров используются смеси благородных газов с галогенами, название прижилось и используется для всех лазеров аналогичной конструкции.

[[Длина волны]] эксимерного лазера зависит от состава используемого газа, и обычно лежит в [[ультрафиолет]]овой области:

{| class="wikitable"
!Эксимер
!Длина волны
|-
|Ar2||126 нм
|-
|Kr2||146 нм
|-
|F2||157 нм
|-
|Xe2||172 нм
|-
|ArF||193 нм
|-
|KrCl
|222 нм
|-
|KrF||248 нм
|-
|XeBr||282 нм
|-
|XeCl||308 нм
|-
|XeF||353 нм
|}

Эксимерные лазеры обычно работают в импульсном режиме с частотой следования импульсов от одного до нескольких сотен герц, у некоторых моделей частота может достигать 2 кГц; также возможна генерация единичных импульсов. Импульсы излучения обычно имеют длительность от 10 до 30 нс и энергию от единиц до сотен миллиджоулей. Мощное ультрафиолетовое излучение таких лазеров позволяет их широко применять в [[хирургия|хирургии]] (особенно [[глазная хирургия|глазной]]), в процессах [[фотолитография|фотолитографии]] в полупроводниковом производстве, при микрообработке материалов, в производстве ЖК панелей, а также в [[дерматология|дерматологии]]. Сегодня эти устройства довольно громоздки, что является недостатком при широком медицинском применении (см. [[LASIK]]), однако их размеры постоянно уменьшаются благодаря современным разработкам.

== См. также ==
* [[Виды лазеров]]
* [[Эксимерная лампа]]

== Ссылки ==
*ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР - Физическая энциклопедия. В 5-ти томах. — М.: Советская энциклопедия. Главный редактор А. М. Прохоров. 1988.
*Эксимерные лазеры, под ред. Ч. Роудза, пер. с англ., M., 1981

[[Категория:Лазеры по видам]]
[[Категория:Лазерная коррекция зрения]]

Эксимерный лазер - История изменений

imported>LNTG: отмена правки 144037061 участника 95.24.168.165 (обс.)